技术编号：5954899
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体检测，尤其是涉及。背景技术SAff (声表面波)传感器具有选择敏感性高、重复性及可靠性好等优点被广泛应用于环境保护、军事、反恐安防等气体检测领域。随着应用需求的不断增加，对气体检测仪器 的时效性、准确性和稳定性提出了新的要求。SAW传感器具有以下优点 I.高灵敏度，高线性度=SAW传感器的能量密度很大，对表面的扰动很敏感，且SAW传感器的基频可以加工至数GHz，因此检测灵敏度较高。2.重复性和可靠性好SAW传感器的关键部件为SAW谐振器或延...
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