技术编号:5955381
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容式位移传感器领域技术,尤其是指一种多环并联式电容位移传感器。背景技术随着科学技术的不断发展,高精度位移测量和非接触测量的需求越来越多,电容测微技术的应用面也越来越宽。随着电容传感器存在的分布电容、非线性等缺点得到克服,高精度、高稳定性的电容测微产品相继问世。高精度电容测微仪可实现的分辨率极高,且具有较好的频响特性,因此近年来成为高精度微动平台反馈控制的几种主要检测传感器之 O目前已有的电容位移传感器主要有如下两大类I、差动式变极距型电容传感器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。