光学元件体内激光损伤在线探测方法和装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5955669

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本发明涉及激光损伤探测,特别是 一种光学元件体内激光损伤在线探测方法和装置。背景技术随着激光通量的提升和紫外激光研究的深入,光学元件的抗破坏能力制约了激光器的发展和紫外领域的研究。激光破坏的产生和生长会导致光束质量及光通量的下降,同时也会造成后续元件的破坏。因此目前评判高功率激光系统中元件质量优劣的一个重要指标就是光学元件的激光损伤阈值。光学元件的激光损伤可能发生在前、后表面或体内。比如激光薄膜、熔石英玻璃等元件的损伤首先产生于表面;KDP/DKDP晶体的...
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