技术编号:5955702
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及谐振式压力传感器。更具体地,本发明涉及测量精度高、制造简单、且成本低的谐振式压力传感器。本发明要求于2011年8月25日提交的日本专利申请No. 2011-183857的优先权,通过引用的方式将其整体并入本文。背景技术在本申请的下文中将要引用或识别的所有专利、专利申请、专利公开、科技文章等的全部内容将通过引用的方式并入本文,以更充分地描述本发明所属的状态。 图13是示出例如在日本未审查实用新型申请、首次公开第H01-171337号中披露的根据现有...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。