技术编号:5955956
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种探针装置,用于对诸如半导体集成电路和液晶板这样的电子装置的电学性能进行检查。背景技术通常来说,公知的探针装置具有一个探针,该探针与样品上的电极发生接触,并且多个平行排列的导线的末端部分从基底上突伸出来。在由日本已公开专利No.2002-286755公开的探针装置中,由于微小探针从基底上突伸出来,所以该探针装置可以在不会于样品上施加较大动力的条件下受到过驱动(overdriven),并且多个探针可以确保同时与样品上的多个电极发生接触。另一方...
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