气动测微计的测量头以及其制造方法技术资料下载

技术编号:5956073

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本发明涉及气动测微计(air micrometer)的测量头及其制造方法。背景技术对于施加了高精度的精加工的工件,要求对其尺寸进行精密地测量,由此,应用将空气(air)作为测量介质对工件的尺寸进行测量的气动测微计。例如,对工件的内径进行测量的内径测量用的气动测微计具备测量头,该测量头具有插入到形成于被测量物的孔(被测量孔)中的测量元件,并构成为从在该测量元件的外周面形成的喷嘴口向被测量孔的内周面吹风,并根据与喷嘴口和被测量孔的内周面之间的间隙对应的空气的流...
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