技术编号:5956429
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于两个尽可能平行布置的板之间的干涉测量的确定距离的装置。背景技术除了沿横向方向检测两个可相对彼此移动的物体的位置改变之外,还存在这样的测量任务,其中仅仅或者必要时额外地还需要确定这些物体沿与此垂直于的、竖直的方向的距离。例如,这可以涉及确定两个尽可能平行布置的板之间的距离确定,其中该板相对彼此仅具有小的距离。对这种高精度的距离测量来说,干涉测量的方法是适合的,就像DE102007016774A1 或 US4, 606, 638 中公开的那样...
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