技术编号:5956643
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种振动测量装置,特别是公开一种激光聚焦式测头测量微幅振动的方法及其使用的装置,适用于机械、电子、建筑、地质等领域中超精密机械加工时的微幅振动测量。背景技术振动测量领域覆盖了机械、电子、建筑、地质等广泛领域。随着半导体、光学仪器工业和Mems行业的发展,越来越多的元器件需要在微米、甚至纳米级的精度上进行超精密机械加工。而超精密机械加工对微幅振动极为敏感,消除或减小微幅振动是保证产品质量的关键,通过消除或减小这类超微密加工过程中的微幅振动,可以保证...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。