技术编号：5957069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。检漏仪用内部校准漏孔[0001][0002]本实用新型与氦质谱检漏仪的内置校准漏孔有关。[0003]背景技术[0004]目前国内外氦质谱检漏仪所用的内置校准漏孔大多数采用薄膜渗透型，利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，但温度对渗氦率的影响很大，温度系数为3%/°C左右，使用时需要进行修正，否则温度变化会对测试结果带来一定的影响。[0005]实用新型内容[0006]本实用新型的目的是提供一种结构简单，使用方便，漏率稳定可靠的检漏仪用内部校准漏孔。[0007]本...
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