技术编号:5957401
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种传感器阵列及其制备方法,尤其是。背景技术 目前,人们为了检测温度已经发明了各种各样的温度传感器,尤其是基于材料温度一电阻特性变化的温度传感器。常用的如金属铂或其它金属制成的薄膜温度传感器,它们是在绝缘衬底上形成金属薄膜电阻,并焊接引线,最后进行外包封构成温度传感器。这些金属薄膜温度传感器在接近于室温的一段温度范围内,电阻的变化与温度变化近似为线性关系,而且稳定性较高,得到了广泛地应用。尤其是金属铂温度传感器是目前测量精度和稳定性都较高的温度传...
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