技术编号：5958776
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米计量溯源，涉及一种能输出具有实时精度溯源性测量数据，实现亚纳米级精度的计量及溯源的方法。背景技术纳米技术已成为推动全球科技革新、经济增长的重大领域，随着其蓬勃发展，各种亚纳米级精度的计量及溯源方法已广泛应用于科学研究和实际生产中，它使人类能实时地观察单个原子在物体表面的排列，进行纳米级的测量、加工、信息存储等，具有巨大的应用潜力。现在越来越多的现代测量及加工要求测得的数据具有实时精度溯源性，但现实检测及加工中往往并不知道所计量精度数据的准确性...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。