基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法技术资料下载

技术编号:5958777

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本发明涉及一种,属于光学移相干涉检测领域。背景技术光学移相干涉测量是一种非接触、高精度的全场测量方法,被广泛的应用于光学表面、形变及厚度等测量领域,但传统的移相技术由于需要在不同时间采集多幅移相干涉图,不适合测量运动物体或动态过程。同步移相可在同一时间得到多幅相移干涉图,克服了传统移相干涉技术的缺点,可实现运动物体或动态过程的实时测量,近年来受到国内外学者的广泛关注。 墨西哥学者G. Rodriguez-Zurita等提出利用一维光栅和偏振调制方法相结合实...
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