技术编号:5958932
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光栅检测领域,具体涉及一种绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置。背景技术绝对式光栅尺总装完成之后,在加工中各个生产环节和组装环节所积累的误差会对光栅尺测量精度造成影响,需要对光栅尺总体精度进行检测。现有的光栅尺总体精度检测方法多采用接触式测量结构,将接触式探头安装在工作平台的移动滑台上,与光栅尺的读数头同步移动,对光栅尺的精度进行检验,由于存在摩擦力、应力形变和表面瑕疵,检测结果会存在误差。 发明内容为了解决现有技术中存在的问题,本发...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。