技术编号:5959144
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种量测装置,特别是一种量测薄膜厚度的量测装置。背景技术 近年来随工业的发展,人类的工艺技术日异月新,薄膜厚度更已达到奈米等级。为了观察以及测量各类极微小元件,各类量测工具纷纷问世,例如,扫描穿隧显微仪(Scanning Tunneling Microscope)便是其中一项量测工具。如图1所示,扫描穿隧显微仪是将探针11设置于极接近导电待测物12的表面,并保持一极小间隙H。此时,电子可由探针11的针尖穿隧到导电待测物12表面,产生穿隧效应。由于...
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