技术编号：5959433
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术本领域已知利用可移动质量体相对于支撑结构的相对移位的各种类型的微机电传感器。这一类型的传感器在许多装置中在不断增加的程度上扩展并且可以例如包括加速度计、陀螺仪和声电换能器(麦克风/扬声器)。可移动质量体的移位由待测量的量的变化来确定。例如在加速度计的情况下，向支撑结构施加的力修改它的运动状态并且引起可移动质量体的相对移位。在陀螺仪中，保持于受控振动中的可移动质量体由于支撑结构的旋转所致的科里奥利加速度而移位。在声电换能器中，可移动质...
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