技术编号:5960478
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米级精度的测量,具体讲是涉及大范围纳米检测光学系统。背景技术 纳米测量技术是纳米科学的一个重要分支。纳米级精度的测量已经成为目前工业和科学发展中迫切需要解决的问题。纳米计量正在朝着高精度、高分辨率的方向发展。一般来说,一套完整的纳米位移测量系统应该由四部分组成,即探测系统、位移系统、计量系统和信号处理及控制系统。因而纳米测量技术可以说是多种技术的综合,如何将以上四种技术结合在一起构成一个完整的系统,设计出实用的纳米测量系统,是今后纳米位移测量发...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。