技术编号：5960619
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机电一体化精密科学仪器领域，特别涉及一种集原位微纳米力学测试及刻划加工为一体的原位微纳米力学测试及刻划加工一体机，在材料科学、超精密加工、半导体技术、固体力学等领域具有较好的应用前景。背景技术原位微纳米力学测试技术是近几年发展起来的前沿技术，受到各国政府和研究机构的高度关注。原位纳米压痕测试技术由于具有高的载荷和位移测试分辨率，在微尺度力学测试中显现出独特的优势，据此开展的相关研究成果也得到《Nature》、《Science》、((PNAS))等...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。