技术编号：5960799
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。—种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器本发明属于薄膜电子技术与传感技术交叉领域，特别是一种适用于声表面波(SAW)和薄膜体声波(FBAR)气体传感器的气体敏感膜及传感器。背景技术精确、快速检测和识别有害气体的种类和含量，对保护人的生活质量具有重要的意义。在有害气体快速实时检测领域，气体传感器的应用越来越广泛。在此背景下，气体敏感膜就要求有较高的灵敏度、选择性、快速可逆吸附/脱附，以达到实时监测气体环境的目的。从原理上讲，敏感膜对被测分子的吸附...
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