技术编号:5961136
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于测量装置检定,更具体地,涉及一种触针式轮廓仪传感器静态及动态特性的检定装置。背景技术目前,高端表面形貌的检测需要达到几个mm范围、纳米级分辨率的水平。触针式传感器处于触针式轮廓仪的输入端,是整个轮廓仪系统的首要环节,其性能直接影响仪器系统精度特性。为了适应高端表面形貌的检测要求,触针式轮廓仪传感器的动、静态特性要求也越来越高。根据触针式表面粗糙度测量仪校准规范,校检项目中对于触针式轮廓仪传感器的 校检存在三点不足之处。第一,校检项目中,对触针式轮...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。