技术编号:5962097
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,特别是实现真空度在I X IO-4Pa I X IO-1Pa范围内工作用真空计准确校准的装置及方法,属于测量领域。背景技术工作用真空计广泛应用于工业生产各个领域,其测量范围大多在lX10_4Pa IXlO5Pa0工作用真空计的校准是真空计量领域的一个重要研究方向。文献“许红,张书令,唐景远。工作用热传导真空计的现场计量校准.第六届华东三省一市真空学术交流会,2009”介绍了目前工作用真空计校准时所采用的便携式真空校准系统。该系统配备了一台机械泵...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。