技术编号:5963436
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测试微尺度试样力学性能的仪器,具体的说,涉及一种用拉伸、弯曲、剪切、扭转等方式对微尺度试样的力学性能进行测试的仪器及其测试方法。背景技术 微电子机械(MEMS)行业的发展迫切需要可靠测试微尺度试样的力学性能。目前,用于微尺度试样力学性能的测试的仪器,主要有纳米压痕仪,该仪器的特点是擅长对试样进行压痕实验,即压头在试样表面压入一定深度,通过获得的加卸载曲线,根据相关的力学模型对数据进行转换,得到被测试样的硬度和模量等力学参数。这种仪器结构设...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。