技术编号：5964072
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半自动探针台探针的防护装置，尤其涉及一种防止半自动探针台 探针烧针的装置。背景技术在晶圆级别可靠性测试中，需要测量介质的击穿电压，在介质被击穿的一瞬间，通 过探针的电流急剧变大，产生大量焦耳热，导致探针因温度过高而烧针。如图1中所示，介质3未被击穿时，其结构类似于电容，其电阻无穷大。此时源能 量单元I通过探针2的电流很小，小于微安级别(10~-6安培)。如图2中所示，在击穿瞬间， 击穿后的介质4的电阻变小，在10欧姆左右。假设源能量单元I施加...
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