技术编号：5965392
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在晶圆测试硬件系统中与测试仪实现连接的探针卡基板，特别是涉及一种导线连线式圆形探针卡基板。背景技术 基于压合式连接方式与测试仪实现连接的探针卡基板，在测试硬件系统被广泛使用。压合式连接方式是当前最为常见的一种测试仪一探针卡连接方式，它是通过测试机台引出的可伸缩弹性探针和探针卡上的金属基盘相接触来实现测试仪和探针卡间的信号传输。这种连接方式在技术上最为成熟，所有探针卡制造商都能提供基于压合式方式的探针卡基板以对应于各种类型的自动测试仪。采用该种...
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