技术编号:5966205
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。探针卡和强制空气冷却探针头组件本申请是2008年3月24日提交的、名称为“垂直探针卡和空气冷却探针头系统”、 申请号为200680035220.1的中国专利申请的分案申请。本发明大致涉及半导体集成电路(IC)的测试及装置,且尤其是涉及这种电路及装 置在加热环境中的长期测试。背景技术在半导体晶片内的集成电路及装置的电参数的电检测和测量中,具有多个针的探 针卡方便了对晶片中的一个或多个装置内的大量电路触点的并行访问。通常一个或多个探 针卡被水平地排列成与晶片平...
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