技术编号:5966625
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造工具(fab tool)中的多个方法,且特别是缺陷分类法则(rule ofthumb of defect classification)建立方法,且特别是一种缺陷分类方法与基于缺陷分类法则与关键区域分析(Critical Area Analysis, CAA)的致命缺陷(killer defect)判断方法。背景技术在半导体制造厂房中,于半导体制造过程中,多个工艺,例如,涂底、涂布、烘烤以及摄影工艺等会施行于晶圆上。然而,如果在至少一工艺中,...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。