技术编号:5966720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于干涉仪误差的评估领域,具体涉及。背景技术移相干涉仪是一种高精密的光学测量设备,被广泛应用于科研与生产中。作为一种高精密的光学仪器,移相干涉仪利用其自身高精密的光学和机械部件来保证其测试精度。经过长时间的使用,不断增加的随机误差会对干涉仪的测量精度产生影响。通常情况下,需要采用多种昂贵的高精密仪器来分析寻找随机误差源。这大大地增加了干涉仪的维护和使用成本。发明内容为了解决现有技术中存在的问题,本发明提供了,该方法通过对随机误差的模态进行分析,通过比...
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