技术编号:5966831
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气敏传感器测试,具体涉及一种用于半导体微纳单晶的简单稳定可靠的测试系统。背景技术随着现代科学技术的发展和人类社会的进步,一方面人类在创造了巨大的财富的同时,另一方面又给生态环境和生活环境带来了严重的污染。这些污染带来的一系列问题,如温室效应、酸雨、臭氧层的破坏等也不容忽视,因此迅速准确地检测到这些有毒、有害气体成为一种迫切需要。气敏传感器正是在这样的背景下得到了迅速的发展。在众多的气体传感器中,半导体式气体传感器由于它成本低、寿命长以及对湿度敏感...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。