技术编号:5966845
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械电子,具体涉及一种梁膜四梁结构硅微流量传感器芯片。背景技术流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数。近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展。MEMS流量传感器按测量原理主要可以分为热式和非热式两种,经过30年的发展,热式MEMS流量传感器已经占据了流量测量的主流位置。但是,热式微流量传感器也有其固有的缺点。例如功耗大、衬底的热传导导...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。