技术编号:5966942
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械电子,具体涉及一种带有温度隔离结构的石英加速度传感器。背景技术目前,以双端固定石英音叉作为感知单元的加速度传感器逐渐取得广泛的应用。这类传感器具有频率输出、信噪比高、容易激励和测量等优点,可以应用在高精度数字导航系统中。这类加速度传感器的原理主要是将双端固定石英音叉粘贴在采用传统工艺加工的金属基础上,该基础上有挠性梁支撑的质量块,当加速度施加到传感器上时,质量块受惯性力作用产生位移,从而拉或者压双端固定石英音叉,改变双端固定石英音叉的振动频...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。