技术编号:5967169
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种MEMS加速度传感器,该MEMS加速度传感器具有基底以及在X_Y平面内平行于基底安置的传感器模块,其中传感器模块能够绕一轴线旋转地连接至基底,传感器模块包括多个孔,并且传感器模块的重量在旋转轴线的两侧不同,该MEMS加速度传感器还具有用于检测传感器模块绕其旋转轴线旋转运动的传感器元件。背景技术通过专利公开文献US2010/0024554A1可知一种加速度传感器,其被设置成微机电系统(MEMS)。传感器包括基底以及在X-Y平面内平行于基底安置的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。