技术编号：5967338
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。基于间接式微机械微波功率传感器的相位检测装置本发明提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的微波相位检测装置，属于微电 子机械系统的。背景技术在微波技术研究中，微波相位是表征微波信号特征的一个重要参数。相位检测装 置在测量器件与系统的相位特性等方面有极其广泛的应用，应用最广泛的微波相位检测器 是利用场效应晶体管构成的吉尔伯特乘法器，这种微波相位传感器的缺点在于使用了有源 器件，从而带来了不可忽略的噪声和功耗，影响了检测的准确度。继上世纪末开始，RF MEM...
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