共烧结构的电导率传感器及其制作方法技术资料下载

技术编号:5967827

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本发明涉及一种电导率传感器,特别涉及一种。背景技术在本领域中电导率传感器(包括四电极电导率传感器)以及共烧结工艺技术是公知的,电导率传感器用于测量液体或在液体中悬浮的扩散固体等流体的电导率(conductibity)。电导率传感器常常用于溶液的电解特性以及水解特性等,还被用来检测水质量,如饮用水、工业生产用水等,广泛应用在电力、化工、环保、食品、半导体工业、海洋研究开发等生活生产领域。共烧结技术由于具有易于实现大规模生产及实现产品微型化被广泛应用在半导体领...
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