技术编号：5968008
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体流量测量领域，尤其涉及一种能够精确测量微量气体的流量计及其测量方法。背景技术现有的气体流量计大都是介入式，例如差压式、速度式、容积式、涡街、超声振子、热式等样式的流量计，需要将节流件、涡轮或旋转体等置于待测气体的通道内，不仅操作复杂，而且直接接触待测气体必然会受到一定程度的腐蚀、堵塞等，进而影响到介入件的灵敏度，导致测量不准确；且，现有的气体流量计只能测量具有一定流速或温度的大量气体，而对于流速较慢的微量气体(如I小时内仅流通共I毫升气体)，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。