技术编号:5969510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。Wafer厚度及平面度的测量装置属于Wafer测量设备领域,具体涉及针对Wafer厚度和平面度精密测量的测量装置。背景技术随着半导体和芯片技术的飞速发展,各类规格Wafer产品越来越多,产品多样化必然对Wafer产品制造工艺和质量控制提出更高要求。Wafer产品一般规格有4英寸、6英寸、8英寸、12英寸甚至更大规格不等,整体为圆形平板状(一般会有一个小的直边缺口),厚度一般在3mm以下,其材质为脆性材料。由于Wafer产品由多层材料组成,组成为成品的Waf...
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