技术编号:5970293
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微机电系统领域,涉及一种MEMS光学干涉平台。背景技术干涉仪的工作原理是从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来,之后汇合在分光镜上产生干涉条纹,并通过移动可动反射镜来观察干涉条纹的变化。激光干涉仪配合各种折射镜及反射镜可以用来测量线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工具。而干涉平台是激光干涉仪的核心部件,传统干涉平台由固定反射镜、可动反射镜...
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