技术编号：5970483
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种压力测量装置，尤其是具备耐环境气体污染的表压测量硅传感器。背景技术目前，公知的表压测量硅传感器是由测量膜片、充灌液、腔室、硅信号发生器、通气管道组成。工作时，测量介质的压力通过测量膜片和充灌液向信号发生器正侧传递，环境气体的压力(一般为当前大气压力)作为参比压力通过通气管道直接向硅信号发生器负侧传递，实现表压测量的目的。但这种表压测量硅传感器在污染气体环境下工作时，污染气体会通过通气管道直接进入硅传感器参比腔与硅信号发生器接触，将使硅信号...
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