技术编号:5971525
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及カ敏传感器领域,尤其是涉及到用于微小力探測的ー种微力探測器。(ニ)背景技术利用材料的物理性质在カ的作用下发生变化的现象制备了カ敏传感器。カ敏传感器的种类甚多、传统的測量方法是利用弾性元件的形变和位移来表示,但它的体积大、笨重、输出非线性。随着微电子技术的发展,利用半导体材料的压阻效应和良好的弾性,研制出半导体力敏传感器,主要有硅压阻式和电容式两种,它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点,因此半导体力敏传感器得到广泛应用。随着新材料的不断发展,...
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