双电阻单电离复合真空计的制作方法技术资料下载

技术编号:5972178

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本实用新型涉及一种真空计,特别是涉及一种双电阻单电离复合真空计。背景技术真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,真空计的种类很多,主要包括静态变形真空计、静态液体真空计、压缩式真空计、热偶真空计、电阻式真空计和电离式真空计。目前许多真空系统需要测量的真空度范围比较宽,只用一 种真空计往往不能覆盖全部测量范围,目前市售的复合真空计主要将一个电离真空计与一个电阻真空计复合在一台仪器中形成,目前市售的这种复合真空计主要存在以下缺点1、当被测量系统的真空度为较低时不...
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