技术编号:5972691
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于老化测试装置的泛用型导轨结构,特别是涉及一种用于老化测试装置中可以有效减少粉尘产生与老化测试板磨损的泛用型导轨结构。背景技术在集成电路制作流程中,当完成切割、测试与封装后,往往因应集成电路元件(或电子元件)的种类、作业环境或是销售的区域,而需要进行一老化测试,以获知该电子元件是在高温的环境下仍然可以正常的运作。请参阅图1A,其为一用以进行老化测试的现有习知的老化测试装置10的示意图。老化测试装置10中有一或数个老化测试炉12,而在老化...
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