技术编号:5976908
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种检测设备,具体涉及一种晶体微缺陷扫描仪。技术背景在现代节能照明(LED)、太阳能发电和平板显示工业中,一般是将集成电路级别的发光、发电、显示电路单元刻蚀或生长在红宝石、蓝宝石、玻璃等晶体结晶制成的基板上,再经过切割、封装等工艺制成模组,故晶体基板本身在抛光、镀膜过程中所产生的划痕、镀膜缺陷等不良,会对终端制成品的良率有极大的影响。现有的检测技术主要是采用在显微镜协助下进行人工目测的方式,对基板进行缺陷检查及标注。此类方法的核心缺点如下I、...
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