技术编号:5977225
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多维气相色谱阀路系统,特别涉及用于多种高纯度含氟电子气体分析用气相色谱阀路系统。背景技术含氟电子气体主要用途是在电子、半导体工业和光伏产业中化学气相沉积的清洗剂和等离子蚀刻剂。随着近几年TFT-LCD面板业、半导体业和太阳能面板业等相关领域的 迅猛发展,含氟电子气体的用量也在不断增加。若高纯度含氟电子气体中杂质如H2、02、N2, CH4, CO、CO2, N2O等含量过高,将严重影响其在清洗蚀刻方面的使用性能,因此在分析检测方面要求较高。目...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。