一种真空系统的接触式测温机构的制作方法技术资料下载

技术编号:5977705

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本实用新型涉及测温装置,具体地,涉及一种用于玻璃在真空腔室加热环境下的表面温度的接触式测温机构。背景技术真空环境下,压强远小于101. 325千帕(kPa)(即I大气压)。由于其特殊性,真空系统的测温就不能用常用测温器测量了。 现有技术中,真空室加热系统中玻璃温度的测量基本通过非接触式间接测温,例如通过控制加热器表面的温度来间接推算玻璃表面的温度;或者是通过一特殊的装置用红外测温仪来测量玻璃表面的温度。但是,上述方法均不能准确的测定玻璃表面的温度,其得到的...
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