技术编号:5977944
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种位移測量装置,尤其是涉及ー种几何量精密计量中的激光干涉、光栅等条纹信号的计数细分装置。背景技术采用激光干渉、光栅、容栅、磁栅原理制成的位移測量装置在科研及エ业生产中广泛应用。在测量过程中,基于上述原理制成的传感器在理想情况下输出两路相位差为90°、幅度相同、直流偏置为零的理想信号。但实际上由于设计安装等误差因素的存在,从传感器不易直接获得两路理想信号。然而一般号信号处理方法往往需要传感器输出为理想信号,否则很难达到较高的细分精度。例如《自...
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