技术编号：5978458
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种加速度计，尤其是一种基于静电刚度的谐振式微加速度计。背景技术硅微加速度计是典型的MEMS惯性传感器，目前主要有电容式、压电式、压阻式、隧道电流式和谐振式等多种形式。其中硅微谐振式加速度计通过谐振频率变化来敏感外部加速度大小，其输出是准数字量的频率信号具有很高的抗干扰性和稳定性，同时可直接与数字电路相连，接口方便。目前，硅微谐振式加速度计主要有基于轴向应力和静电负刚度两种。基于轴向应力的谐振式微加速度计一般由谐振梁和敏感质量块组成，加速度经...
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