技术编号:5979068
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种检测仪,尤其涉及一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪。背景技术随着全球微电子产业的迅速发展,集成电路掩膜版基片、各类方形超高质量表面光学基片在该领域的应用越来越大。在这些超高质量表面要求的方形玻璃基片的生产过程中,需要对这些产品的各类尺寸误差进行全面检测。“方形玻璃基片平面度”质量指标对产品的应用十分重要,直接影响到微电子(集成电路掩膜版)行业大批量产品生产的使用效果O在以往的平面度检验测试中,常使用“激光平面干涉仪”(如中科院光机所制PG...
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