技术编号：5979069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种检测仪，尤其涉及一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪。背景技术随着全球光盘存储、光电子、微电子产业的迅速发展，激光光盘母盘基片、集成电路掩膜版基片、各类圆形超高质量表面光学基片在该领域的应用越来越大。在这些超高质量表面要求的光盘母盘基片的生产过程中，需要对这些产品的各类尺寸误差进行全面检测。“光盘母盘玻璃基片平面度”质量指标对产品的应用十分重要，直接影响到光盘行业大批量产品生产的使用效果。在以往的平面度检验测试中，常使用“激光平面干涉仪”...
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