技术编号：5980124
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种加热槽的漏液检测电路。背景技术目前，因为在湿法设备中石英加热槽应用比较广，加热器的加热丝片直接安装于石英槽内壁里，虽然不直接接触槽内液体，但如果液体不慎进入加热线路就会造成漏电现象，所以检测漏液非常重要。为此石英加热槽内都有检测传感器，主要原理是检测电阻变化，如果电阻偏低(一般认为低于20ΚΩ )就认为有漏液现象。虽然检测电阻可以利用PLC模拟模块进行检测，但模块价格昂贵，而且不实用。发明内容本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种...
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