技术编号：5982715
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及薄膜参数的测试技术，更具体地说，是涉及一种能够将拉曼光谱仪、原子力显微镜以及表面等离子共振光谱仪共同联用并在相同区域原位观测的薄膜测试体。背景技术在薄膜测试的过程中，通常使用拉曼散射技术、原子力显微镜技术以及表面等离子体共振技术，拉曼光谱仪简称RMS是20世纪90年代发展起来的分析仪器，其工作原理为当一束激光照射到样品上，样品分子可以使入射光发生散射，这种散射会使部分光不仅改变了传播方向，而且频率也改变了，这种现象称之为拉曼散射，由于散射光的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。