技术编号:5986500
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于磁致伸缩传感器领域,特别涉及一种以超磁致伸缩材料Terfenol-D为敏感元件的无源磁致伸缩压力传感器。技术背景 现有的压力传感器种类繁多,典型的压力传感器有压阻式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器、压电式压力传感器。压阻式压力传感器利用半导体材料的压阻效应制成,它的基片由半导体材料制成,在外力作用下,基片产生形变,阻值发生变化,电桥失去平衡,从而输出电压信号。该传感器受温度影响大,重复性较差,且对半导体的加工工艺要求复杂,成本高...
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