技术编号:5987625
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种MEMS领域中的装置,具体地说,涉及的是ー种连续精确调整微型零件位置的装置。背景技术在MEMS领域中,经常需要将微型力学试样精确地放置在拉伸夹具的卡口中,如图1所示。如采用传统宏观试样拉伸实验的方法,利用镊子等简易工具放置试样,会对实验造成以下几点影响第一,进样、取样空间狭小,操作困难,影响实验效率;第二,用手持镊子夹取试样,用カ控制不当,容易对试样造成不可恢复的损害;第三,人工手动操作,定位精度较低,即使有显微镜的帮助也很难精确定位,从...
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